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半導体ウエハのin-situ温度計測システムの研究
半導体ウエハのin-situ温度計測システムの研究
Paper
図書
井内徹, 東洋大学 [著]
[井内徹]
2005-2006
<Y151-H17560377>
National Diet Library
Subject Heading
放射測温 / 半導体 / 温度計測 / 放射率 / 偏光 / 酸化膜 / 薄膜 /
熱接触抵抗
ファスナ結合した分岐を有する構造要素の熱伝導試験
ファスナ結合した分岐を有する構造要素の熱伝導試験
Digital
文書・図像類
大竹, 邦彦, 遠藤, 修司, 田中, 太, 内田, 伸宏, Otake, Kunihiko, Endo, Shuji, Tanaka, Futoshi, Uchida, Nobuhiro
航空宇宙技術研究所
1996-04
航空宇宙技術研究所資料 = Technical Memorandum of National Aerospace Laboratory
691
p.1-31
Other Libraries in Japan
Subject Heading
ファスナ結合構造
熱接触抵抗
熱伝導特性 アルミニウム合金 機体構造要素 分岐部材 温度...
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