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- Summary, etc.極薄膜の環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜をイオンビームやプラズマを用いて開発した。
- Subject Headingプラズマ イオンビーム 環境セル型透過電子顕微鏡 隔膜 窒化物薄膜 Plasma Ion Beam Envi...
- Note (General)研究内容 ［１］パルスパラメータ可変型磁場援用パルスプラズマ源の開発と環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜の開発 ［２］イオンビームを用いた有機物質表面改質によ...