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ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用
ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用
Paper
図書
島田, 尚一, 大阪大学
1997-1998
<Y151-H09555045>
National Diet Library
Subject Heading
直線基準 光線基準 レーザービーム 方向安定性 直線性 追尾性
直進機構
形状測定
光線基準を用いた超高精度
直進機構
の開発とその形状測定および表面加工への応用
光線基準を用いた超高精度直進機構の開発とその形状測定および表面加工への応用
Paper
図書
島田, 尚一, 大阪大学
1994-1996
<Y151-H06555037>
National Diet Library
Subject Heading
直線基準 レーザービーム
直進機構
真直度 方向安定性 形状測定
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