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図書

ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用

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ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用

Call No. (NDL)
Y151-H09555045
Bibliographic ID of National Diet Library
000007063487
Material type
図書
Author
島田, 尚一, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ナノメートル セイド オ モツ コウセン キジュン ノ カイハツ ト オオガタ ブヒン ノ チョウコウセイド ヘイメンド ソクテイ ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
島田, 尚一, 大阪大学
Author Heading
島田, 尚一 シマダ, ショウイチ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
直線基準 チヨクセンキジユン
光線基準 コウセンキジユン
レーザービーム レーザービーム
方向安定性 ホウコウアンテイセイ
直線性 チヨクセンセイ
追尾性 ツイビセイ
直進機構 チヨクシンキコウ
形状測定 ケイジヨウソクテイ