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ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用

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ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H09555045
国立国会図書館書誌ID
000007063487
資料種別
図書
著者
島田, 尚一, 大阪大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノメートル セイド オ モツ コウセン キジュン ノ カイハツ ト オオガタ ブヒン ノ チョウコウセイド ヘイメンド ソクテイ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
島田, 尚一, 大阪大学
著者標目
島田, 尚一 シマダ, ショウイチ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
直線基準 チヨクセンキジユン
光線基準 コウセンキジユン
レーザービーム レーザービーム
方向安定性 ホウコウアンテイセイ
直線性 チヨクセンセイ
追尾性 ツイビセイ
直進機構 チヨクシンキコウ
形状測定 ケイジヨウソクテイ