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- Subject Heading...長 ナノサイズ配線 Si基板 石英ガラス基板 マスクのパターン描画 電子ビーム誘起効果 選択成長 ナノフ...
- Note (General)...i基板及び配線基板として重要な石英ガラス基板上への選択成長を試み、その基礎特性を調べた。基板には石英ガラス基板またはSi基板、炭化水素膜には......認した。同じ作製条件でさらに、石英ガラス基板上で実験したところ、電子ビーム......入した窒素雰囲気にさらした後、石英ガラス基板上での選択成長を試みた。その結......マスクを使用して、Si基板及び石英ガラス基板上でZnの選択成長を試みたところ、マスクのパターンを描画する...