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新概念ギアレス工作物回転型ナノメータ超平滑両面ポリシング技術の開発
新概念ギアレス工作物回転型ナノメータ超平滑両面ポリシング技術の開発
Paper
図書
安井平司, 熊本大学 [著]
[安井平司]
2005-2006
<Y151-H17360065>
National Diet Library
Subject Heading
両面研磨 / 超高除去速度 / 超高圧力 / 超高速度 / 新方式 / 無歯車工作物回転 / ポリシャ /
磁気ディスク基板
カオス理論の適用による超精密・微細加工面の設計
カオス理論の適用による超精密・微細加工面の設計
Paper
図書
樋口, 誠宏, 関西大学
1998-1999
<Y151-H10650127>
National Diet Library
Subject Heading
磁気デイスク基板
ダイヤモンド切削 残留応力 形状精度 シリコン 異方性エツ...
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