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Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading光インターコネクト / 集積光学 / 光導波路 / 光電子集積回路 / グレーティングカップラ / 回路シミュレーション / 窒化シリコン膜 / 屈折率制御
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- Subject HeadingX線全反射現象 酸化シリコン膜 窒化シリコン膜 非晶質 原子構造 薄膜 X線回折
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