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超純水による加工現象の第一原理分子動力学シミユレ-シヨン

超純水による加工現象の第一原理分子動力学シミユレ-シヨン
Paper図書
後藤, 英和, 大阪大学2001-2002<Y151-H13650117>
National Diet Library
  • Subject Heading第一原理分子動力学シミユレ-シヨン 平面波基底 超純粋電解加工法 シリコン単結晶表面 水酸化物...

超純水による新しい電気化学的加工法

超純水による新しい電気化学的加工法
Paper図書
森, 勇蔵, 大阪大学1999-2001<Y151-H11305014>
National Diet Library
  • Subject Heading超純水 電解加工法 超精密超清浄加工法 水酸イオン 表面酸化膜形成 触媒材料 イオン交換材料 第一原理分子動力学シミユレーシヨン

完全表面の創成

完全表面の創成
Paper図書
森勇藏, 大阪大学 [著][森勇藏]1996-2002<Y151-CE010-001>
National Diet Library
  • Subject Heading完全表面 / 超精密加工 / EEM / プラズマCVM / 大気圧プラズマCVD / 超純水電解加工 / 第一原理分子動力学シミュレーション / ウルトラクリーンテクノロジー

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