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大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御

大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御
Paper図書
片岡, 俊彦, 大阪大学1996-1998<Y151-H08405014>
National Diet Library
  • Subject Heading大気圧・高周波プラズマ 時空間分解発光分光計測 準安定粒子 負グロー 吸収分光 温度計測 粒子密度計測

無電極メタルハライド放電中の粒子およびエネルギー輸送解析

無電極メタルハライド放電中の粒子およびエネルギー輸送解析
Paper図書
濱本, 誠, 大分大学1998-1999<Y151-H10650286>
National Diet Library
  • Subject Headingメタルハライド放電 高周波放電 高輝度放電ランプ 無電極ランプ 発光分光計測 レーザー誘起蛍光計測 温度計測 粒子密度計測

メタルハライド放電中の粒子およびエネルギー輸送解析

メタルハライド放電中の粒子およびエネルギー輸送解析
Paper図書
濱本, 誠, 大分大学1996-1997<Y151-H08650341>
National Diet Library
  • Subject Headingメタルハライド放電 高周波放電 高輝度放電ランプ 無電極ランプ 発光分光計測 レーザー誘起蛍光計測 温度計測 粒子密度計測

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