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大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御

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大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御

Call No. (NDL)
Y151-H08405014
Bibliographic ID of National Diet Library
000007011180
Material type
図書
Author
片岡, 俊彦, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1996-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タイキアツ ・ コウシュウハ プラズマプロセス ノ ジクウカン ブンカイ ハッコウ ブンコウ ケイソク ト ソノ セイギョ
Author/Editor
片岡, 俊彦, 大阪大学
Author Heading
片岡, 俊彦 カタオカ, トシヒコ
Publication Date
1996-1998
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
大気圧・高周波プラズマ タイキアツ・コウシユウハプラズマ
時空間分解発光分光計測 ジクウカンブンカイハツコウブンコウケイソク
準安定粒子 ジユンアンテイリユウシ
負グロー フグロー
吸収分光 キユウシユウブンコウ
温度計測 オンドケイソク
粒子密度計測 リユウシミツドケイソク