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大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御

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大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御

国立国会図書館請求記号
Y151-H08405014
国立国会図書館書誌ID
000007011180
資料種別
図書
著者
片岡, 俊彦, 大阪大学
出版者
-
出版年
1996-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タイキアツ ・ コウシュウハ プラズマプロセス ノ ジクウカン ブンカイ ハッコウ ブンコウ ケイソク ト ソノ セイギョ
著者・編者
片岡, 俊彦, 大阪大学
著者標目
片岡, 俊彦 カタオカ, トシヒコ
出版年月日等
1996-1998
出版年(W3CDTF)
1996
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
大気圧・高周波プラズマ タイキアツ・コウシユウハプラズマ
時空間分解発光分光計測 ジクウカンブンカイハツコウブンコウケイソク
準安定粒子 ジユンアンテイリユウシ
負グロー フグロー
吸収分光 キユウシユウブンコウ
温度計測 オンドケイソク
粒子密度計測 リユウシミツドケイソク