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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- タイキアツ ・ コウシュウハ プラズマプロセス ノ ジクウカン ブンカイ ハッコウ ブンコウ ケイソク ト ソノ セイギョ
- 著者・編者
- 片岡, 俊彦, 大阪大学
- 著者標目
- 片岡, 俊彦 カタオカ, トシヒコ
- 出版年月日等
- 1996-1998
- 出版年(W3CDTF)
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- 大気圧・高周波プラズマ タイキアツ・コウシユウハプラズマ時空間分解発光分光計測 ジクウカンブンカイハツコウブンコウケイソク準安定粒子 ジユンアンテイリユウシ負グロー フグロー吸収分光 キユウシユウブンコウ温度計測 オンドケイソク粒子密度計測 リユウシミツドケイソク