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Paper図書

瀧本, 昭, 金沢大学1991-1992<Y151-H03650177>

National Diet Library

Paper図書

小林, 敏雄, 東京大学1990-1991<Y151-H02452115>

National Diet Library

Digital文書・図像類

滝本, 昭, Takimoto, Akira金沢大学機械工学系1993-03平成4(1992)年度科学研究費補助金一般研究(C) 研究成果報告書 = 1992 Fiscal Year Final Research Report1991-1992p.41p.-

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Subject Heading化学気相成長法薄膜製造高効率化微粒子熱・物質移動 Chemical Vapo...
Note (General)...い定着性が必須であり,従って,薄膜製造においてはこれらの条件を含めた......化学気相成長(CVD)法による薄膜製造法の現状,および工業材への応用...... 出典：「化学気相成長法による薄膜製造の高効率化」研究成果報告書　課題番号03650177(KAK...

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