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固体表面における極端紫外光化学反応の表面科学的手法による研究

固体表面における極端紫外光化学反応の表面科学的手法による研究
Paper図書
佐藤, 真理, 北海道大学1993-1995<Y151-H05650034>
National Diet Library
  • Subject Heading表面光化学反応 ペンタ鉄カルボニル 光分解 表面分光法 反応中間体

遠紫外光照射による高分子レジストの自己現像と乾式剥膜

遠紫外光照射による高分子レジストの自己現像と乾式剥膜
Paper図書
杉田, 和之, 千葉大学1987-1988<Y151-S62470100>
National Diet Library
  • Subject Headingレジスト 光エツチング 真空紫外光 光化学反応 表面光化学反応 リソグラフイー

シンクロトロン放射光励起表面化学反応による単結晶薄膜の気相成長

シンクロトロン放射光励起表面化学反応による単結晶薄膜の気相成長
Paper図書
宮本信雄, 東北大学1988-1990<Y151-S63470105>
National Diet Library
  • Subject Heading結晶成長 表面光化学反応 シンクロトロン放射光 光刺激脱離 光電子分光 光CVD シ...

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