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ナノ分解能DLTS顕微鏡の試作

ナノ分解能DLTS顕微鏡の試作
Paper図書
前田, 康二, 東京大学1996-1998<Y151-H08555003>
National Diet Library
  • Subject HeadingDLTS 顕微鏡 非接触 表面光起電力 深い準位 STM 過渡応答 ナノ

メゾスコピツク領域での抵抗率分布顕微測定法の開発

メゾスコピツク領域での抵抗率分布顕微測定法の開発
Paper図書
目良, 裕, 東京大学1992-1993<Y151-H04650008>
National Diet Library
  • Subject Heading深い準位 DLTS GaAs 高分解能 非接触 走査トンネル顕微鏡 表面光起電力

シリコンウエーハ極表面層の非接触測定評価法の研究

シリコンウエーハ極表面層の非接触測定評価法の研究
Paper図書
荻田, 陽一郎, 神奈川工科大学1998-2000<Y151-H10650021>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコンウエーハ 表面層評価 非接触測定評価 表面層ダメージ ケルビンプローブ 表面電位 水素イオン注入ダメージ 表面光起電力

表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測

表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測
Paper図書
山内, 和人, 大阪大学1994-1995<Y151-H06650143>
National Diet Library
  • Subject Heading表面光起電力 シリコン 表面電子準位 微弱表面電位計測システム EEM ...

機能性半導体探針を有する新しい走査トンネル顕微鏡による電子エネルギ分光計測

機能性半導体探針を有する新しい走査トンネル顕微鏡による電子エネルギ分光計測
Paper図書
高橋, 琢二, 東京大学1997-1998<Y151-H09650381>
National Diet Library
  • Subject Heading走査トンネル顕微鏡 半導体探針 レーザ光照射 微分コンダクタンス バンドギヤツプ 表面空乏化 表面光起電力効果 自己形成量子ドツト

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