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気相からの炭素-炭化ケイ素系固体析出反応における成膜前駆体と成膜機構
気相からの炭素-炭化ケイ素系固体析出反応における成膜前駆体と成膜機構
Paper
図書
河瀬元明, 京都大学 [著]
[河瀬元明]
2003-2004
<Y151-H15360421>
National Diet Library
Subject Heading
化学気相成長法 / 熱分解炭素 / 傾斜機能材 / プロパン / ジメチルジクロロシラン / 素反応シミュレーション / 反応モデル /
表面反応速度
パルス表面反応解析のためのFTIR拡散反射装置の開発
パルス表面反応解析のためのFTIR拡散反射装置の開発
Paper
図書
村上, 雄一, 名古屋大学
1991-1992
<Y151-H03555170>
National Diet Library
Subject Heading
拡散反射FTIR 正反射 ダイナミツク測定 Rh触媒 表面吸着種
表面反応速度
CO水素化 CO2水素化
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