気相からの炭素-炭化ケイ素系固体析出反応における成膜前駆体と成膜機構

Call No. (NDL): Y151-H15360421
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007860638

Material type: 図書

Author: 河瀬元明, 京都大学 [著]

Publisher: [河瀬元明]

Publication date: 2003-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 83p

NDC: -

View All

Notes on use

Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type: 図書
Title: 気相からの炭素-炭化ケイ素系固体析出反応における成膜前駆体と成膜機構
Title Transcription: キソウカラノタンソ - タンカケイソケイコタイセキシュツハンノウニオケルセイマクゼンクタイトセイマクキコウ
Author/Editor: 河瀬元明, 京都大学 [著]
Author Heading: 河瀬, 元明カワセ, モトアキ
京都大学キョウトダイガク
Publication, Distribution, etc.: [河瀬元明]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 83p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 化学気相成長法 / 熱分解炭素 / 傾斜機能材 / プロパン / ジメチルジクロロシラン / 素反応シミュレーション / 反応モデル / 表面反応速度カガクキソウセイチョウホウ / ネツブンカイタンソ / ケイシャキノウザイ / プロパン / ジメチルジクロロシラン / ソハンノウシミュレーション / ハンノウモデル / ヒョウメンハンノウソクド
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360421
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360421
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007860638
http://id.ndl.go.jp/bib/000007860638
Bibliographic Record Category (NDL): 214