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気相からの炭素-炭化ケイ素系固体析出反応における成膜前駆体と成膜機構

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気相からの炭素-炭化ケイ素系固体析出反応における成膜前駆体と成膜機構

国立国会図書館請求記号
Y151-H15360421
国立国会図書館書誌ID
000007860638
資料種別
図書
著者
河瀬元明, 京都大学 [著]
出版者
[河瀬元明]
出版年
2003-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
83p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
キソウ カラノ タンソ - タンカ ケイソケイ コタイ セキシュツ ハンノウ ニ オケル セイマク ゼンクタイ ト セイマク キコウ
著者・編者
河瀬元明, 京都大学 [著]
著者標目
河瀬, 元明 カワセ, モトアキ
京都大学 キョウト ダイガク
出版事項
出版年月日等
2003-2004
2005.3
出版年(W3CDTF)
2003
2004
数量
83p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)