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- Subject Heading超精密工作機械 / スピンドル装置 / 静圧軸受 / 流体駆動モータ / ...
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- Subject Heading位置決め 空気静圧案内面 工作機械 精密機械 ダイヤモンド切削 超精密工作機械 能動制御 摩擦駆動
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- Subject Heading超精密切削加工 超精密工作機械 熱変形 ダイヤモンド切削加工 インプロセス補正制御 誤差推...
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- Subject Heading位置決め 工作機械 ダイヤモンド切削 超精密工作機械 ナノテクノロジ 摩擦駆動
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- Subject Heading超精密加工 超精密工作機械 超精密主軸 精密送り機構 微小環境変化 変形の予測 熱変形...
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- Subject Heading超精密工作機械 磁気軸受主軸 加工誤差 運動誤差 誤差補正 インテリジエン...
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- Subject Heading超精密工作機械 超精密切込み装置 インテリジエント制御 熱変形制御 誤差補...
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- Subject Heading超精密切削 超精密工作機械 加工精度 運動精度 形状精度 回転精度 直進精度