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図書

オングストロームの分解能を持つ超精密位置決めシステムの開発

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オングストロームの分解能を持つ超精密位置決めシステムの開発

Call No. (NDL)
Y151-H07555375
Bibliographic ID of National Diet Library
000007004894
Material type
図書
Author
水本, 洋, 鳥取大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
オングストローム ノ ブンカイノウ オ モツ チョウセイミツ イチギメ システム ノ カイハツ
Author/Editor
水本, 洋, 鳥取大学
Author Heading
水本, 洋, 1946- ミズモト, ヒロシ, 1946- ( 00165161 )Authorities
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
位置決め イチギメ
工作機械 コウサクキカイ
ダイヤモンド切削 ダイヤモンドセツサク
超精密工作機械 チヨウセイミツコウサクキカイ
ナノテクノロジ ナノテクノロジ
摩擦駆動 マサツクドウ