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オングストロームの分解能を持つ超精密位置決めシステムの開発

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オングストロームの分解能を持つ超精密位置決めシステムの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H07555375
国立国会図書館書誌ID
000007004894
資料種別
図書
著者
水本, 洋, 鳥取大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
オングストローム ノ ブンカイノウ オ モツ チョウセイミツ イチギメ システム ノ カイハツ
著者・編者
水本, 洋, 鳥取大学
著者標目
水本, 洋, 1946- ミズモト, ヒロシ, 1946- ( 00165161 )典拠
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
位置決め イチギメ
工作機械 コウサクキカイ
ダイヤモンド切削 ダイヤモンドセツサク
超精密工作機械 チヨウセイミツコウサクキカイ
ナノテクノロジ ナノテクノロジ
摩擦駆動 マサツクドウ