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斜入射配置高効率光学素子を用いた光分岐回路の試作と応用
斜入射配置高効率光学素子を用いた光分岐回路の試作と応用
Paper
図書
小舘, 香椎子, 日本女子大学
1991-1992
<Y151-H03650038>
National Diet Library
Subject Heading
リニアゾーンプレートアレイ 複合機能素子 深紫外リソグラフイ
軟X線リソグラフイ
光分岐回路 多分岐結合素子 光並列処理
軟X線および深紫外リソグラフィーによる機能性微小光学素子の作成と応用に関する研究
軟X線および深紫外リソグラフィーによる機能性微小光学素子の作成と応用に関する研究
Paper
図書
小舘香椎子, 日本女子大学
1987-1988
<Y151-S62550033>
National Diet Library
Subject Heading
深紫外リソグラフイー
軟X線リソグラフイ
ー微小光学素子 フレネルブーンプレート 高効率格子
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