軟X線および深紫外リソグラフィーによる機能性微小光学素子の作成と応用に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 軟X線および深紫外リソグラフィーによる機能性微小光学素子の作成と応用に関する研究
• Title Transcription: ナン Xセン オヨビ シンシガイ リソグラフィー ニ ヨル キノウセイ ビショウ コウガク ソシ ノ サクセイ ト オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 小舘香椎子, 日本女子大学
• Author Heading: 小館, 香椎子, 1941- コダテ, カシコ, 1941- ( 00172745 )Authorities
• Publication Date: 1987-1988
• Publication Date (W3CDTF): 1987; 1988
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 深紫外リソグラフイー シンシガイリソグラフイー; 軟X線リソグラフイー微小光学素子 ナンXセンリソグラフイービシヨウコウガクソシ; フレネルブーンプレート フレネルブーンプレート; 高効率格子 コウコウリツコウシ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62550033
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S62550033
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007031335; http://id.ndl.go.jp/bib/000007031335
• Bibliographic Record Category (NDL): 214