軟X線および深紫外リソグラフィーによる機能性微小光学素子の作成と応用に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 軟X線および深紫外リソグラフィーによる機能性微小光学素子の作成と応用に関する研究
• タイトルよみ: ナン Xセン オヨビ シンシガイ リソグラフィー ニ ヨル キノウセイ ビショウ コウガク ソシ ノ サクセイ ト オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 小舘香椎子, 日本女子大学
• 著者標目: 小館, 香椎子, 1941- コダテ, カシコ, 1941- ( 00172745 )典拠
• 出版年月日等: 1987-1988
• 出版年（W3CDTF）: 1987; 1988
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: 深紫外リソグラフイー シンシガイリソグラフイー; 軟X線リソグラフイー微小光学素子 ナンXセンリソグラフイービシヨウコウガクソシ; フレネルブーンプレート フレネルブーンプレート; 高効率格子 コウコウリツコウシ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 62550033
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S62550033
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007031335; http://id.ndl.go.jp/bib/000007031335
• 整理区分コード: 214