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真空紫外光および軟X線用中空光伝送路の研究

真空紫外光および軟X線用中空光伝送路の研究
Paper図書
松浦祐司, 東北大学 [著][松浦祐司]2004-2005<Y151-H16360164>
National Diet Library
  • Subject Heading中空ファイバ / 紫外レーザ / 軟X線光学素子 / エキシマレーザ / 真空紫外光源

コヒーレントEUV光(高次高調波)によるEUV光学系の表面形状計測

コヒーレントEUV光(高次高調波)によるEUV光学系の表面形状計測
Paper図書
緑川克美, 理化学研究所 [著][緑川克美]2004-2005<Y151-H16206010>
National Diet Library
  • Subject HeadingEUV / コヒーレントX線 / 高次高調波 / 超短パルスレーザー / EUVリソグラフィ / フェムト秒レーザー / 軟X線光学 / 干渉計測

非軸対称非球面の形状計測に関する研究

非軸対称非球面の形状計測に関する研究
Paper図書
原田, 達男, 東京都立大学1993-1994<Y151-H05452140>
National Diet Library
  • Subject Heading非軸対称非球面 トロイド面 円筒面 斜入射光学系 形状計測 レーザ干渉計 軟X線光学

薄膜の軟X線光学定数の研究と軟X線用多層膜光学素子の開発

薄膜の軟X線光学定数の研究と軟X線用多層膜光学素子の開発
Paper図書
波岡, 武, 東北大学1987-1990<Y151-S63420023>
National Diet Library
  • Subject Heading軟X線 多層膜 光学定数 超薄膜 軟X線光学素子 軟X線分光反射率計

X線結像光学

X線結像光学
Paper図書
波岡, 武, 東北大学1988-<Y151-S63306032>
National Diet Library
  • Subject HeadingX線光学 軟X線光学 X線顕微鏡 X線望遠鏡 X線偏光 X線光学素子

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