コヒーレントEUV光(高次高調波)によるEUV光学系の表面形状計測

Call No. (NDL): Y151-H16206010
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008339968

Material type: 図書

Author: 緑川克美, 理化学研究所 [著]

Publisher: [緑川克美]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: コヒーレントEUV光(高次高調波)によるEUV光学系の表面形状計測
Title Transcription: コヒーレント EUVコウコウジコウチョウハニヨル EUV コウガクケイノヒョウメンケイジョウケイソク
Author/Editor: 緑川克美, 理化学研究所 [著]
Author Heading: 緑川, 克美ミドリカワ, カツミ
理化学研究所リカガクケンキュウジョ
Publication, Distribution, etc.: [緑川克美]
Publication Date: 2004-2005
2006.6
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: EUV / コヒーレントX線 / 高次高調波 / 超短パルスレーザー / EUVリソグラフィ / フェムト秒レーザー / 軟X線光学 / 干渉計測 EUV / コヒーレント Xセン / コウジコウチョウハ / チョウタンパルスレーザー / EUV リソグラフィ / フェムトビョウレーザー / ナン Xセンコウガク / カンショウケイソク
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16206010
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16206010
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008339968
http://id.ndl.go.jp/bib/000008339968
Bibliographic Record Category (NDL): 214