コヒーレントEUV光(高次高調波)によるEUV光学系の表面形状計測

国立国会図書館請求記号: Y151-H16206010
国立国会図書館書誌ID: 000008339968

資料種別: 図書

著者: 緑川克美, 理化学研究所 [著]

出版者: [緑川克美]

出版年: 2004-2005

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1冊

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
タイトル: コヒーレントEUV光(高次高調波)によるEUV光学系の表面形状計測
タイトルよみ: コヒーレント EUVコウコウジコウチョウハニヨル EUV コウガクケイノヒョウメンケイジョウケイソク
著者・編者: 緑川克美, 理化学研究所 [著]
著者標目: 緑川, 克美ミドリカワ, カツミ
理化学研究所リカガクケンキュウジョ
出版事項: [緑川克美]
出版年月日等: 2004-2005
2006.6
出版年（W3CDTF）: 2004
2005
数量: 1冊
その他のタイトル: 研究種目基盤研究(A)
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
eng
件名標目: EUV / コヒーレントX線 / 高次高調波 / 超短パルスレーザー / EUVリソグラフィ / フェムト秒レーザー / 軟X線光学 / 干渉計測 EUV / コヒーレント Xセン / コウジコウチョウハ / チョウタンパルスレーザー / EUV リソグラフィ / フェムトビョウレーザー / ナン Xセンコウガク / カンショウケイソク
NDLC: Y151
一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号: 16206010
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Y151-H16206010
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000008339968
http://id.ndl.go.jp/bib/000008339968
整理区分コード: 214