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- Subject Heading位置決め / 工作機械 / 静圧軸受 / 能動制御 / 自成絞り / 静圧継ぎ手 / ナノテクノ...
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- Subject Heading回転機械 空気静圧軸受 計測機器 軸受 真円度測定 静圧軸受 精密機械 メカトロニクス
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- Subject Heading精密位置決め / 水平多関節型機構 / SCARA型ロボット / 関節駆動機構 / 空気静圧軸受
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- Subject Heading位置決め / 工作機械 / ナノテクノロジ / 静圧軸受 / 超精密加工 / 摩擦駆動 / 能動制御
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- Subject Headingハイブリッド軸受 / 静圧軸受 / 極低温流体 / ロケットターボポンプ
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- Subject Heading流体制御 空気圧 プロセス機器 発電器 バイブレ-タ 効率解析 静圧軸受
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- Subject Heading超精密工作機械 / スピンドル装置 / 静圧軸受 / 流体駆動モータ / メゾスケール / マイクロファクト...
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- Subject Heading円筒 形状誤差 うねり 粗さ 三次元測定 静圧軸受 装置開発 ころ軸受
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- Subject Headingピストンポンプ・モータ 清水 水道水 しゅう動部材 静圧軸受機構 設計理論
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- Subject Heading圧電素子 位置決め 空気静圧案内面 真直度 静圧軸受 静剛性 ナノテクノロジ 能動制御
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- Subject Heading回転精度 固有誤差 静圧軸受 総合評価 ラジアルモーシヨン コニカルモーシヨン アキシヤ...
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- Subject Heading空気静圧軸受 無限剛性 自動調整絞り 排気制御絞り 静圧式自動調整絞り ...
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- Subject Heading気体軸受 静圧軸受 回転精度 軸受製作誤差 軸受剛性と減衰係数 精度設計 表面...