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超クリ-ン・真空環境用高出力静電浮上リニアモ-タ

超クリ-ン・真空環境用高出力静電浮上リニアモ-タ
Paper図書
樋口, 俊郎, 東京大学2000-2002<Y151-H12355011>
National Diet Library
  • Subject Heading静電モ-タ リニアモ-タ 非接触浮上 静電浮上 真空 クリ-ンル-ム ...

生物の筋肉をモデルとした集積型微小静電アクチユエータの開発

生物の筋肉をモデルとした集積型微小静電アクチユエータの開発
Paper図書
壁井, 信之, 東京女子医科大学1990-1992<Y151-H02452133>
National Diet Library
  • Subject Heading筋肉 静電気 静電モータ アクチユエータ リニアモータ 誘電体 マイクロマシン 微細...

生物の筋肉をモデルとした集積形微小静電モータの開発

生物の筋肉をモデルとした集積形微小静電モータの開発
Paper図書
壁井, 信之, 東京女子医科大学1987-1989<Y151-S62550185>
National Diet Library
  • Subject Heading静電モータ 静電エネルギー 筋肉 アクチユエータ 誘電体 電極

プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用

プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用
Paper図書
森田, 慎三, 名古屋大学1989-1992<Y151-H01460101>
National Diet Library
  • Subject Headingプラズマ重合レジスト 電子線リソグラフイ立体加工法 プラズマ重合スチレンネガレジスト プラズマ重合αメチルスチレンネガレジスト サブミクロンパターン加工 キヤリヤーガス効果 静電モーター加工

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