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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- プラズマ ジュウゴウ レジスト オ モチイタ マイクロメカニカルデバイス リッタイ カコウホウ ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ
- Author/Editor
- 森田, 慎三, 名古屋大学
- Author Heading
- 森田, 慎三 モリタ, シンゾウ
- Publication Date
- 1989-1992
- Publication Date (W3CDTF)
- 1989
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- プラズマ重合レジスト プラズマジユウゴウレジスト電子線リソグラフイ立体加工法 デンシセンリソグラフイリツタイカコウホウプラズマ重合スチレンネガレジスト プラズマジユウゴウスチレンネガレジストプラズマ重合αメチルスチレンネガレジスト プラズマジユウゴウアルフアメチルスチレンネガレジストサブミクロンパターン加工 サブミクロンパターンカコウキヤリヤーガス効果 キヤリヤーガスコウカ静電モーター加工 セイデンモーターカコウ