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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- プラズマ ジュウゴウ レジスト オ モチイタ マイクロメカニカルデバイス リッタイ カコウホウ ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ
- 著者・編者
- 森田, 慎三, 名古屋大学
- 著者標目
- 森田, 慎三 モリタ, シンゾウ
- 出版年月日等
- 1989-1992
- 出版年（W3CDTF）
- 1989
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- プラズマ重合レジスト プラズマジユウゴウレジスト電子線リソグラフイ立体加工法 デンシセンリソグラフイリツタイカコウホウプラズマ重合スチレンネガレジスト プラズマジユウゴウスチレンネガレジストプラズマ重合αメチルスチレンネガレジスト プラズマジユウゴウアルフアメチルスチレンネガレジストサブミクロンパターン加工 サブミクロンパターンカコウキヤリヤーガス効果 キヤリヤーガスコウカ静電モーター加工 セイデンモーターカコウ