Search results for "高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 / 希土類酸化膜 / 深さ方向元素分布" | NDL Search | National Diet Library

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高誘電体/シリコン界面形成の原子スケール制御による高品質界面の実現

Paper図書

野平博司, 武蔵工業大学 [著][野平博司]2004-2005<Y151-H16560026>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 / 希土類酸化膜 / 深さ方向元素分布

角度分解X線光電子分光法による高誘電体薄膜/シリコン界面構造の深さ方向分析

Paper図書

野平博司, 武蔵工業大学 [著][野平博司]2002-2003<Y151-H14550029>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 / 希土類酸化膜 / 深さ方向元素分布

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