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フオトニツク結晶薄膜の高速製造とデバイス化

フオトニツク結晶薄膜の高速製造とデバイス化
Paper図書
大久保, 達也, 東京大学2000-2001<Y151-H12555221>
National Diet Library
  • Subject Headingフオトニツククリスタル デバイス フオトニツクバンドギヤツプ 自己組織化 ナノ粒子 シリカ 結晶化 高速製膜

超音速噴流を用いたＶＨＦプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発

超音速噴流を用いたＶＨＦプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発
Digital文書・図像類
牟田, 浩司近畿大学2016科学研究費助成事業研究成果報告書 (2015)p.1-5
Other Libraries in Japan
  • Subject HeadingVHFプラズマ 超音速噴流 高速製膜 クラスター マルチホローカソード シランプラズマ

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