文書・図像類

超音速噴流を用いたＶＨＦプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発

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超音速噴流を用いたＶＨＦプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発

Material type
文書・図像類
Author
牟田, 浩司
Publisher
近畿大学
Publication date
2016
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General)：

研究種目：基盤研究(C); 研究期間：2013～2015; 課題番号：25390108; 研究分野：応用物理学; 科研費の分科・細目：Research Paperapplication/pdf

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https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25390108/

Detailed bibliographic record

Summary, etc.：

研究成果の概要（和文）：本研究は微結晶シリコン製膜プロセスの高速化・高品質化・大面積化を目指して、特にガス流れに注目し、プラズマや膜特性との関係を詳細に調べ、製膜プロセスの高度化を図ることを目的としている。シランプラズマ中で超音速噴流を用いると、ガス圧とノズル基板間距離を最適化することで従来の約10...

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Digital

Material Type
文書・図像類
Title
超音速噴流を用いたＶＨＦプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発
Author/Editor
牟田, 浩司
Author Heading
牟田, 浩司
Publication, Distribution, etc.
近畿大学
Publication Date
2016
Publication Date (W3CDTF)
2016
Alternative Title
High speed fabrication of large-area microcrystalline silicon films using VHF plasma with an under-expanded supersonic jet
Periodical title
科学研究費助成事業研究成果報告書 (2015)
Pages
1-5