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新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御
新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御
Paper
図書
辻輝生, 九州工業大学 [著]
[辻輝生]
2002-2004
<Y151-H14350122>
National Diet Library
Subject Heading
予測制御 / 同期誤差 / 加速度フィードバック /
2慣性系
/ 剛体系 / 共振 / フィルタ / 位置決め
ロバスト・モーシヨンコントロール・システムの開発とそのCAD化
ロバスト・モーシヨンコントロール・システムの開発とそのCAD化
Paper
図書
原島, 文雄, 東京大学
1995-1996
<Y151-H07555425>
National Diet Library
Subject Heading
ロバスト制御 モーシヨンコントロール 可変構造形 スライデイングモード 離散値系 VSSオブザーバ
2慣性系
CAD
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