新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御

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Material Type: 図書
Title: 新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御
Title Transcription: シンセイギョホウシキニヨルハンドウタイロコウソウチノコウソクナノメータドウキイチセイギョ
Author/Editor: 辻輝生, 九州工業大学 [著]
Author Heading: 辻, 輝生ツジ, テルオ
九州工業大学キュウシュウコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [辻輝生]
Publication Date: 2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 予測制御 / 同期誤差 / 加速度フィードバック / 2慣性系 / 剛体系 / 共振 / フィルタ / 位置決めヨソクセイギョ / ドウキゴサ / カソクドフィードバック / 2 カンセイケイ / ゴウタイケイ / キョウシン / フィルタ / イチギメ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350122
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350122
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007955009
http://id.ndl.go.jp/bib/000007955009
Bibliographic Record Category (NDL): 214