新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: 新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御
• タイトルよみ: シン セイギョ ホウシキ ニ ヨル ハンドウタイ ロコウ ソウチ ノ コウソク ナノメータ ドウキ イチ セイギョ
• 著者・編者: 辻輝生, 九州工業大学 [著]
• 著者標目: 辻, 輝生 ツジ, テルオ; 九州工業大学 キュウシュウ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [辻輝生]
• 出版年月日等: 2002-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2004
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 予測制御 / 同期誤差 / 加速度フィードバック / 2慣性系 / 剛体系 / 共振 / フィルタ / 位置決め ヨソク セイギョ / ドウキ ゴサ / カソクド フィードバック / 2 カンセイケイ / ゴウタイケイ / キョウシン / フィルタ / イチギメ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14350122
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14350122
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007955009; http://id.ndl.go.jp/bib/000007955009
• 整理区分コード: 214