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National Diet Library
- Subject Heading薄膜 / ナノサイズ / ストレスマイグレーション / Cu薄膜 / Al薄膜 / 残留応力 / 熱応力 / 保護膜
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- Subject HeadingAl-Si (Cu) 薄膜 Al薄膜 Ag薄膜 Auナノ結晶 非晶質合金 弾性率 表面・界面 粒...
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- Subject Headingバイアススパツタ 低エネルギイオン照射 Al薄膜 ヒロツクフリー 低温エピタキシヤル成長 エピタキシヤルシリ...
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