RF-DC結合型バイアススパッタ装置

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Material Type: 図書
Title: RF-DC結合型バイアススパッタ装置
Title Transcription: RF-DC ケツゴウガタバイアススパッタソウチ
Author/Editor: 柴田直, 東北大学
Author Heading: 柴田, 直シバタ, タダシ
Publication Date: 1987-1988
Publication Date (W3CDTF): 1987
1988
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目奨励研究(B)
Subject Heading: バイアススパツタバイアススパツタ
低エネルギイオン照射テイエネルギイオンシヨウシヤ
Al薄膜 ALハクマク
ヒロツクフリーヒロツクフリー
低温エピタキシヤル成長テイオンエピタキシヤルセイチヨウ
エピタキシヤルシリコンエピタキシヤルシリコン
スパツタ成膜スパツタセイマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62850050
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62850050
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007032918
http://id.ndl.go.jp/bib/000007032918
Bibliographic Record Category (NDL): 214