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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- RF-DC ケツゴウガタ バイアススパッタ ソウチ
- 著者・編者
- 柴田直, 東北大学
- 著者標目
- 柴田, 直 シバタ, タダシ
- 出版年月日等
- 1987-1988
- 出版年（W3CDTF）
- 19871988
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 奨励研究(B)
- 件名標目
- バイアススパツタ バイアススパツタ低エネルギイオン照射 テイエネルギイオンシヨウシヤAl薄膜 ALハクマクヒロツクフリー ヒロツクフリー低温エピタキシヤル成長 テイオンエピタキシヤルセイチヨウエピタキシヤルシリコン エピタキシヤルシリコンスパツタ成膜 スパツタセイマク