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次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発

次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発
Paper図書
福田, 承生, 東北大学2000-2001<Y151-H12555001>
National Diet Library
  • Subject HeadingLiCaAlF6 KMgF3 BaLiF3 F2レーザー 光リソグラフイー 硝材 真空紫外域 単結晶

Ab-initio phonon calculation for BaLiF3 / Pm-3m (221) / materials id 10250

Ab-initio phonon calculation for BaLiF3 / Pm-3m (221) / materials id 10250
Digital文書・図像類
Atsushi TogoNIMS
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Summary, etc....alculation for BaLiF3 / Pm-3m (221) Phonon band str...
  • Subject HeadingPhonon BaLiF3 Pm-3m (221)

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