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ラジカル注入法を用いたプラズマエツチングとラジカル反応機構に関する研究

ラジカル注入法を用いたプラズマエツチングとラジカル反応機構に関する研究
Paper図書
堀, 勝, 名古屋大学1995-1996<Y151-H07650032>
National Diet Library
  • Subject Headingラジカル プラズマ エツチング フルオロカーボン シリコン CF2 赤外半導体レーザー ECR

XAFS spectrum of Silver heptafluorobutyrate

XAFS spectrum of Silver heptafluorobutyrate
Digital文書・図像類
Industrial Application and Partnership DivisionIndustrial Application and Partnership Division, SPring-82021-07-23
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading...4B2 Si(311) CF3CF2CF2CO2Ag Ag K-edge Organometal Si...

Ab-initio phonon calculation for Ho2CF2 / P-3m1 (164) / materials id 9006

Ab-initio phonon calculation for Ho2CF2 / P-3m1 (164) / materials id 9006
Digital文書・図像類
Atsushi TogoNIMS
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Summary, etc....ulation for Ho2CF2 / P-3m1 (164) Phonon band str...
  • Subject HeadingPhonon Ho2CF2 P-3m1 (164)

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