ラジカル注入法を用いたプラズマエツチングとラジカル反応機構に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: ラジカル注入法を用いたプラズマエツチングとラジカル反応機構に関する研究
• Title Transcription: ラジカル チュウニュウホウ オ モチイタ プラズマエツチング ト ラジカル ハンノウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 堀, 勝, 名古屋大学
• Author Heading: 著者 ： 堀, 勝, 1958- ホリ, マサル, 1958- ( 00905209 )Authorities
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: ラジカル ラジカル; プラズマ プラズマ; エツチング エツチング; フルオロカーボン フルオロカーボン; シリコン シリコン; CF2 CF2; 赤外半導体レーザー セキガイハンドウタイレーザー; ECR ECR
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07650032
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07650032
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007006870; http://id.ndl.go.jp/bib/000007006870
• Bibliographic Record Category (NDL): 214