書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ラジカル チュウニュウホウ オ モチイタ プラズマエツチング ト ラジカル ハンノウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 堀, 勝, 名古屋大学
- 著者標目
- 著者 ： 堀, 勝, 1958- ホリ, マサル, 1958- ( 00905209 )典拠
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)