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非平衡PMプロセス材の疑似的超塑性挙動の解明と難加工材料の精密成形への展開
非平衡PMプロセス材の疑似的超塑性挙動の解明と難加工材料の精密成形への展開
Paper
図書
飴山惠, 立命館大学 [著]
[飴山惠]
2004-2006
<Y151-H16360350>
National Diet Library
Subject Heading
非平衡組織 / Ti-Si系 / 擬似的超塑性変形 /
LIGAプロセス
/ アモルファス相 / タングステン / 超塑性変形 / ...
高アスペクト比X線リソグラフイによる高出力マイクロアクチユエータ
高アスペクト比X線リソグラフイによる高出力マイクロアクチユエータ
Paper
図書
杉山, 進, 立命館大学
1996-1998
<Y151-H08455046>
National Diet Library
Subject Heading
デイープX線リソグラフイー 高アスペクト微細構造体 シンクロトロン放射光 X線マスク
LIGAプロセス
Ni電鋳 マイクロアクチユエータ
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