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次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発

次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発
Paper図書
福田, 承生, 東北大学2000-2001<Y151-H12555001>
National Diet Library
  • Subject HeadingLiCaAlF6 KMgF3 BaLiF3 F2レーザー 光リソグラフイー ...

Ab-initio phonon calculation for LiCaAlF6 / P-31c (163) / materials id 6134

Ab-initio phonon calculation for LiCaAlF6 / P-31c (163) / materials id 6134
Digital文書・図像類
Atsushi TogoNIMS
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Summary, etc....alculation for LiCaAlF6 / P-31c (163) Phonon band str...
  • Subject HeadingPhonon LiCaAlF6 P-31c (163)

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