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Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究
Paper図書
栗林, 勝利, 山口大学1994-1995<Y151-H06452230>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロアクチユエータ RSMA TiNi合金薄膜 シリコン基板 熱処理 通電加熱

可逆形状記憶合金アクチユエータを用いたミクロンサイズロボツトの研究

可逆形状記憶合金アクチユエータを用いたミクロンサイズロボツトの研究
Paper図書
栗林, 勝利, 山口大学1991-1993<Y151-H03805021>
National Diet Library
  • Subject Heading可逆形状記憶合金 RSMAアクチユエータ マイクロロボツト ミクロンサイズアクチユエー...

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