Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

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Material Type: 図書
Title: Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究
Title Transcription: Si ウエハジョウカギャクケイジョウキオクゴウキンハクマクノテイオンケイジョウキオクネツショリノケンキュウ
Author/Editor: 栗林, 勝利, 山口大学
Author Heading: 栗林, 勝利クリバヤシ, カツトシ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: マイクロアクチユエータマイクロアクチユエータ
RSMA RSMA
TiNi合金薄膜 TINIゴウキンハクマク
シリコン基板シリコンキバン
熱処理ネツシヨリ
通電加熱ツウデンカネツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06452230
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06452230
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006996126
http://id.ndl.go.jp/bib/000006996126
Bibliographic Record Category (NDL): 214