Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究
• タイトルよみ: Si ウエハ ジョウ カギャク ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク ノ テイオン ケイジョウ キオク ネツ ショリ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 栗林, 勝利, 山口大学
• 著者標目: 栗林, 勝利 クリバヤシ, カツトシ
• 出版年月日等: 1994-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: マイクロアクチユエータ マイクロアクチユエータ; RSMA RSMA; TiNi合金薄膜 TINIゴウキンハクマク; シリコン基板 シリコンキバン; 熱処理 ネツシヨリ; 通電加熱 ツウデンカネツ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06452230
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06452230
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006996126; http://id.ndl.go.jp/bib/000006996126
• 整理区分コード: 214