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高屈折率差サブ波長回折格子を用いたシリコン基板上新機能面発光半導体レーザに関する研究

Digital博士論文障害者向け資料あり

常深, 義博奈良先端科学技術大学院大学2014-03-24

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Subject HeadingSOI基板光導波路 FDTD法 HCG VCSEL

ナノ部品、マイクロ部品に対する強度評価方法の研究

Paper図書

三原豊, 香川大学 [著][三原豊]2001-2003<Y151-H13650281>

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Subject Headingマイクロ部材強度試験 / ナノ部材強度試験 / フォトリソプロセス / SOI基板接合 / 櫛形アクチュエーター

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